위치결정기술은 원하는 위치에 도달하기 위한 기술을 일컫는 총제적인 용어로서 기록매체(CD-ROM, 하드디스크 등.), 사무용 기계(프린터, 스캐너 등.) 그리고 산업장비(공작기계, 노광장치 등.)에 이르기까지 많은 분야에서 사용하고 있는 핵심 기반 연구분야이다. 특히, 첨단산업에 응용되는 초정밀 위치결정 기술은 이송방향을 제외한 이송체의 5자유도 자세를 일정하게 유지하면서 목표위치에 정확하고 신속하게 도달시킬 수 있는 기술을 말한다. 그래서 이송경로상의 궤적 정확도를 나타내는 운동정밀도, 목표위치로의 도달정밀도를 나타내는 위치결정도와 도달위치에 대한 반복정밀도 및 목표위치까지의 도달시간을 좌우하는 응답특성이 초정밀 위치결정기술의 평가 척도가 된다. 위치결정기구 개발은 안내면(Guide way), 동력전달기구(Actuator), 위치검출장치 등으로 구성되는데 각각의 사용목적에 적합한 요소부품의 개념설계를 하는 것이 기본이다. 안내면은 위치결정장치의 자중 및 외부하중을 지탱하면서 상대운동을 하는 부분으로서 마찰을 최소화 하여야 하고, 이송방향에 대한 수직방향의 강성이 충분해야 하며 외부 진동 흡수가 최적화 되어야 한다.
초정밀가공기의 안내면으로는 일반적으로 유정압베어링과 공기 정압베어링을 사용한다. 표면측정용 측정기는 유체베어링에서 발생하는 수nm정도의 배유진동이 측정 프로브에 외란으로 작용하므로 특수하게 고려된 반구형의 베어링을 이용한 슬라이딩 안내면을 사용한다. 초정밀 위치결정에 많이 사용되는 구동기구로는 볼스크류, 마찰구동기구, 리니어모터 등이 있다. 기구설계 뿐만 아니라 보정기구를 설치하여 제어하는 기술 또한 중요한 핵심 요소 중 하나이다. 그 외에 2차원 구동이 가능한 Actuator 또는 Surface모터를 이용한 스테이지나, 미소구동 스테이지등 다양한 구동기구가 초정밀기술에 활용되고 있다.
초정밀가공기의 안내면으로는 일반적으로 유정압베어링과 공기 정압베어링을 사용한다. 표면측정용 측정기는 유체베어링에서 발생하는 수nm정도의 배유진동이 측정 프로브에 외란으로 작용하므로 특수하게 고려된 반구형의 베어링을 이용한 슬라이딩 안내면을 사용한다. 초정밀 위치결정에 많이 사용되는 구동기구로는 볼스크류, 마찰구동기구, 리니어모터 등이 있다. 기구설계 뿐만 아니라 보정기구를 설치하여 제어하는 기술 또한 중요한 핵심 요소 중 하나이다. 그 외에 2차원 구동이 가능한 Actuator 또는 Surface모터를 이용한 스테이지나, 미소구동 스테이지등 다양한 구동기구가 초정밀기술에 활용되고 있다.